ISO 20341-2003 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-16 20:16:15  浏览:8548   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Methodforestimatingdepthresolutionparameterswithmultipledelta-layerreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法
【标准号】:ISO20341-2003
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2003-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:精整;溶解;光谱测定法;标准材料;估计;化学分析和试验;次级离子质谱法
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Dissolution;Estimation;Finishes;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Spectrometry
【摘要】:1ThisInternationalStandardspecifiesproceduresforestimatingthreedepthresolutionparameters,viztheleading-edgedecaylength,thetrailing-edgedecaylengthandtheGaussianbroadening,inSIMSdepthprofilingusingmultipledelta-layerreferencematerials.2ThisInternationalStandardisnotapplicabletodelta-layerswherethechemicalandphysicalstateofthenear-surfaceregion,modifiedbytheincidentprimaryions,isnotinthesteadystate.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:英语